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壓電納米定位與中國加工制造

更新時間: 2018-08-13

    在現代工業領域,壓電納米定位產品覆蓋著很大的應用方面。隨著科技發展,人們對器件的要求越來越高,器件的體積也要求越來越小,甚至可達微納米級。而壓電納米定位產品具有亞納米級的分辨率及定位精度,且因壓電納米定位產品是由容性壓電疊堆陶瓷驅動,所以它的運動定位時間即為壓電疊堆陶瓷充放電的時間,響應時間可快至亞毫秒級。高精度及高響應速度的特點是壓電納米定位產品廣泛應用于工業化的重要因素。

    壓電納米定位產品到底是什么產品?

    壓電納米定位產品其實就是基于壓電式驅動、步進精度在納米量級,且可產生納米級至毫米級的運動范圍的運動產品,可以將它理解是一種統稱。它包括壓電疊堆陶瓷、壓電促動器、壓電納米定位臺、壓電物鏡定位器、快速刀具微進給定位臺、壓電平移臺、壓電掃描臺、壓電偏轉鏡、壓電偏擺臺等。

    壓電納米定位產品都用于哪些工業應用呢?

     可從壓電納米定位產品的特性來了解其應用,例如,我們已經了解到壓電納米定位產品的兩大特點:高精度及高頻響,憑借于此,壓電納米定位產品就可應用于超精密激光加工,例如晶圓切割,利用激光切割晶圓。

    隨著手機等電子產品的體積日益變薄、變小,手機內部的芯片就越來越小,那么晶圓上單個單元die就相應變小,每個單元上都有很多電路,使用激光將晶圓切成單元die,這就要非常高的激光焦點的定位加工精度,需達納米量級;并且,要想快速完成成千上萬的晶圓單元的切割,必須加工速度要快。面對這兩項難題,很多產品都束手無策,但壓電納米定位產品卻可解決這些問題。

    利用芯明天的壓電納米定位產品之壓電物鏡定位器,例如P76,將其安裝于較重的工業物鏡頭上方,在壓電控制器輸出的電壓信號的驅動下,它可帶載工業物鏡頭運動,進行Z向100µm范圍的上下微動,調整距離可至幾納米。當加工用的激光經過工業鏡頭聚焦后,再通過壓電物鏡定位器調節激光焦點的位置,激光焦點位置即是加工點的位置,壓電物鏡定位器可保證加工精度達幾納米。

 

    晶圓切割利用的是壓電納米定位產品的直線超高精度位置調節,也可以通過壓電納米定位產品進行角度調節進行微小孔加工,例如流量控制板小孔加工、高壓渦輪葉片小孔加工、噴油嘴小孔徑倒錐孔加工等,其中激光的方向及加工點的調節都是通過壓電偏轉鏡實現。

    芯明天壓電納米定位產品的工業化,是芯明天強硬的壓電納米定位技術的一種現,更是中國壓電納米定位技術水平趕超世界的一種現。 將壓電納米定位技術用于提高制造行業的加工精度,倡導“中國制造2025”,推進中國制造行業快速發展。

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