壓電促動器的生產技術要求
一種壓電促動器,其包括壓電元件和保持該壓電元件的保持構件,所述壓電元件具有形成于壓電陶瓷片表面上的一對電極,其中:
該壓電陶瓷滿足下面的要求(a)-(e)中的至少一種要求:
(a)堆密度應該等于或小于5g/cm↑[3],根據共振-反共振方法計算的楊氏模量Y↓[11]↑[E]應該等于或大于90GPa;
?。ǎ猓嵯禂祽摰扔诨虼笥冢玻祝?uarr;[-1]K↑[-1];
?。ǎ悖┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?,熱膨脹系數應該等于或大于3.0ppm/℃;
?。ǎ洌┰冢常啊嬷粒保叮啊娴臏囟确秶鷥?,熱電系數應該等于或小于400μCm↑[-2]K↑[-1];
?。ǎ澹┰冢常啊嬷粒福啊娴臏囟确秶鷥龋鶕舱瘢垂舱穹椒ㄓ嬎愕臋C械品質因數Qm應該等于或小于50。