產品名稱:P76壓電物鏡定位器
產品型號:P76大負載
產品特點:P76壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無 摩擦,直線性好,閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。
更新日期:2025-02-23
P76系列壓電物鏡定位器為大負載壓電物鏡定位器,負載能力可達500g,Z軸直線運動范圍可達110μm,采用柔性鉸鏈設計機構,無 摩擦,直線性好,閉環型號定位精度高。分離式螺紋適配器設計,可適配多種型號的顯微鏡。
特性:
• 位移行程110μm
• 大負載500g
• 毫秒級響應時間
• 閉環重復定位精度高
• 聚焦穩定性好
典型應用
• 三維成像 • 干涉/計量
• 自動聚焦系統 • 共焦顯微
• 晶圓切割 • 半導體測試
螺紋適配器便于安裝
P76物鏡定位器與物鏡之間通過適配器連接,將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙可選 ,如 M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。
大負載、高頻響、高分辨率
P76納米掃描聚焦系統的設計是為了大負載、大孔徑 物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到快的階躍時間。它 極其堅固的設計提供了非常快的穩定時間及掃描頻率,即 使帶載幾百克的物鏡時。多個壓電驅動器的旋轉對稱排列 及撓曲和杠桿元件的優化設計,使它具有較高的剛度,同 時保證了優異的導向精度和動態性。
P76壓電物鏡定位器的大通光孔徑為22mm,大 負載為500g,它兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用 的大視場物鏡。P76壓電物鏡定位器可匹配蔡司、尼康、 奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過適配器與 手動調節臺相結合使用。
技術參數:
型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | P76.Z100S P76.Z100K |
單位 |
運動自由度 | Z |
| |
標稱行程范圍(0~120V) | 80 | μm±20% | |
大行程范圍(-20~150V) | 110 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- |
| |
閉/開環分辨率 | 5/2.5 | nm | |
閉環線性度 | 0.05/- | %F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
推/拉力 | 70/10 | N | |
運動方向剛度 | 0.8 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 800 | Hz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 5/2 | ms±20% | |
閉環空載工作頻率 | 10%行程 | 400 |
Hz±20% |
行程 | 50 | ||
大承載 | 0.5 | kg | |
靜電容量 | 7.2 | μF±20% | |
材質 | 鋼、鋁 |
| |
重量 | 520 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
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