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產品名稱：P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺

產品型號：

產品報價：

產品特點：P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產品特點： X軸行程 18μm/ 軸、開 / 閉環可選、Z 向行程 、開 / 閉環可選、真空版本可選

更新日期：2025-02-24

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺的詳細資料：

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 產品特點

 X軸行程 18μm/ 軸

 開 / 閉環可選

 Z 向行程 8μm

 開 / 閉環可選

 真空版本可選

技術參數：

型號

S-閉環

K-開環

P63.X18Z8S

P63.X18Z8K

單位

運動自由度

X、Z

X、Z


驅動控制

2路驅動，2路傳感

2路驅動


標稱行程范圍（0 ~+120 V）

X:16, Z:6

X:16, Z:6

μm±10%

Max.行程范圍（0~+150 V）

X:18, Z:8

X:18, Z:8

μm±10%

傳感器類型

SGS

-


閉/開環分辨率

X0.6 Z0.2

X0.2 Z0.1

nm

閉環線性度

X:0.3, Z:1

-

%F.S.

閉環重復定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滾動

≤15

≤15

μrad

空載諧振頻率

X2/Z1

X2/Z1

KHz±20%

閉/開環空載階躍時間

8

0.5

ms±20%

承載能力

0.5

0.5

kg

靜電容量

X:1.8, Z0.8

X:1.8, Z0.8

μF±20%

工作溫度范圍

-20~80

-20~80

°C

材質

鋁

鋁


出線長

1.5

1.5

m±10mm

P63.X18Z8S P63.X18Z8K 壓電納米定位臺 尺寸圖

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