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產品名稱：芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

產品型號：P54

產品報價：

產品特點：芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺 P54系列是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學系統中。

更新日期：2025-02-23

P54芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺的詳細資料：

1.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

特性  

• θx, θy偏擺運動，zui大偏轉角度±1.1mrad/軸        • 開環/閉環可選擇      • 80×80mm大通孔                  

• 分辨率高                 • 外形超薄

 

2.芯明天二維θxθy向壓電偏擺臺

外觀形狀  

   產品運動示意圖  

  閉環曲線  

 

  閉環傳感精度高  

   頻率負載曲線  

   應用實例-激光合束/軍事激光武器  

P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優化，使角度偏移達到zui小，無空回、無摩擦。

采用壓電陶瓷驅動實現zui大偏轉范圍±1.1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環傳感器實現0.1%F.S.的重復定位精度。

臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、計量、定位等應用的選擇。

P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光武器等領域。

 

  負載大鏡片  

  驅動方式  

 

P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動態高精度的掃描。

校準調測

震動實驗

 

  3.二維θxθy向壓電偏擺臺驅動方式  

P54壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，通過控制電壓的大小，對不同的光路距離，可進行一定范圍的圓形范圍掃描，如下右圖所示。

 

  應用  

       • 光束掃描  • 激光合束對準與激光致盲   • 干涉/計量  • 空間擾動模擬系統  • 光路調整  • 掩模與晶片位置調整  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術  • 表面結構分析

 

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