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產品名稱：芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺

產品型號：N50

產品報價：

產品特點：芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺 N50系列為θx, θz軸偏擺/旋轉臺，*的承載能力，zui大可承載60kg，偏轉角度±0.3mrad?？蓭лd20kg負載高頻率使用。產品主要應用于大負載偏擺/旋轉運動實驗，比如模擬空間擾動實驗等。

更新日期：2025-02-23

N50芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺的詳細資料：

1.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺

特性  

 • θx, θz偏擺/旋轉，角度位移達±0.3mrad/軸          • zui大承載達60kg         • 閉環定位精度高                 • 外形堅固                              • 響應速度快

 

2.芯明天二維θx, θz向壓電偏擺臺

外觀形狀  

   產品運動示意圖  

  閉環曲線  

 

  大承載、高精度、高頻率  

   頻率負載曲線  

   驅動測試實驗  

N50 θx, θz二維偏擺/旋轉臺是專門為空間擾動實驗而設計的大承載偏擺系統，具有電容閉環幅值校正功能，可以帶60kg負載做精密偏轉，zui大行程為±0.3mrad。

N50壓電偏轉臺采用有限元分析對結構進行優化，具有非常高的剛度，即使其在負載的情況下仍然可以實 現高動態，zui大頻率可以達到500Hz。

可選擇多種傳感器類型，如電容、電感、應變計等。該產品已經成功應用于模擬空間擾動等實驗中。

N50大負載θx, θz二維偏擺/旋轉臺需要三通道控制器進行驅動控 制，根據所需使用頻率配套不同功率的壓電控制器。如100~200Hz 使用頻率，我們推薦配套E00/E01系列控制器選擇E05驅動模塊。

 

3.二維θx, θz向壓電偏擺臺

應用  

       • 光束掃描  • 圖像處理/穩定  • 光學、激光掃描、通信、光線偏轉、干涉/計量  • 空間擾動模擬系統  • 光路調整  • 掩模與晶片位置調整  • 光學顯微成像 • SPM掃描顯微鏡  • 掩模/晶圓定位  • 生物技術  • 表面結構分析

 

  可定制  

N50壓電偏擺/旋轉臺參數可接受定制。

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